লিথোগ্রাফি মেশিন মাস্ক অ্যালাইনার ফটো-এচিং মেশিন

স্পেসিফিকেশন

1. এক্সপোজার এলাকা: 110mm × 110mm；
2. ★ এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য: 365nm;
3. রেজোলিউশন: ≤ 1 মি;
4. প্রান্তিককরণ সঠিকতা: 0.8 মি;
5. প্রান্তিককরণ সিস্টেমের স্ক্যানিং টেবিলের গতি পরিসীমা অন্তত পূরণ করা হবে: Y: 10mm;
6. অ্যালাইনমেন্ট সিস্টেমের বাম এবং ডান আলোর টিউবগুলি X, y এবং Z দিক, X দিক: ± 5 মিমি, Y দিক: ± 5 মিমি এবং Z দিক: ± 5 মিমি আলাদাভাবে সরাতে পারে;
7. মুখোশের আকার: 2.5 ইঞ্চি, 3 ইঞ্চি, 4 ইঞ্চি, 5 ইঞ্চি;
8. নমুনার আকার: খণ্ড, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ নমুনা বেধের জন্য উপযুক্ত: 0.5-6 মিমি, এবং সর্বাধিক 20 মিমি নমুনা টুকরা সমর্থন করতে পারে (কাস্টমাইজড);
10. এক্সপোজার মোড: টাইমিং (কাউন্টডাউন মোড);
11. আলোর অ অভিন্নতা: ＜ 2.5%;
12. ডুয়াল ফিল্ড সিসিডি অ্যালাইনমেন্ট মাইক্রোস্কোপ: জুম লেন্স (1-5 বার) + মাইক্রোস্কোপ অবজেক্টিভ লেন্স;
13. নমুনার সাপেক্ষে মুখোশের মুভমেন্ট স্ট্রোক কমপক্ষে পূরণ করবে: X: 5 মিমি;Y: 5 মিমি;: 6º
14. ★ এক্সপোজার শক্তি ঘনত্ব: > 30MW / cm2,
15. ★ সারিবদ্ধ অবস্থান এবং এক্সপোজার অবস্থান দুটি স্টেশনে কাজ করে এবং দুটি স্টেশন সার্ভো মোটর স্বয়ংক্রিয়ভাবে সুইচ করে;
16. সমতলকরণ যোগাযোগের চাপ সেন্সরের মাধ্যমে পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করে;
17. ★ প্রান্তিককরণ ফাঁক এবং এক্সপোজার ফাঁক ডিজিটালভাবে সেট করা যেতে পারে;
18. ★ এটিতে ন্যানো ইমপ্রিন্ট ইন্টারফেস এবং প্রক্সিমিটি ইন্টারফেস রয়েছে;
19. ★ টাচ স্ক্রিন অপারেশন;
20. সামগ্রিক মাত্রা: প্রায় 1400 মিমি (দৈর্ঘ্য) 900 মিমি (প্রস্থ) 1500 মিমি (উচ্চতা)।