লিথোগ্রাফি মেশিন মাস্ক অ্যালাইনার ফটো-এচিং মেশিন

স্পেসিফিকেশন

1. এক্সপোজার এলাকা: 110 মিমি × 110 মিমি;
২. ★ এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য: ৩৬৫nm;
3. রেজোলিউশন: ≤ 1 মি;
4. সারিবদ্ধকরণের নির্ভুলতা: 0.8 মি;
৫. অ্যালাইনমেন্ট সিস্টেমের স্ক্যানিং টেবিলের গতি পরিসীমা কমপক্ষে পূরণ করতে হবে: Y: ১০ মিমি;
৬. অ্যালাইনমেন্ট সিস্টেমের বাম এবং ডান আলোর টিউবগুলি X, y এবং Z দিকগুলিতে আলাদাভাবে চলাচল করতে পারে, X দিক: ± 5 মিমি, Y দিক: ± 5 মিমি এবং Z দিক: ± 5 মিমি;
৭. মাস্কের আকার: ২.৫ ইঞ্চি, ৩ ইঞ্চি, ৪ ইঞ্চি, ৫ ইঞ্চি;
8. নমুনার আকার: খণ্ড, 2 ", 3", 4 ";
৯. ★ নমুনা বেধের জন্য উপযুক্ত: ০.৫-৬ মিমি, এবং সর্বাধিক ২০ মিমি নমুনা টুকরা সমর্থন করতে পারে (কাস্টমাইজড);
১০. এক্সপোজার মোড: টাইমিং (কাউন্টডাউন মোড);
১১. আলোর অ-অভিন্নতা: ＜ ২.৫%;
১২. ডুয়াল ফিল্ড সিসিডি অ্যালাইনমেন্ট মাইক্রোস্কোপ: জুম লেন্স (১-৫ বার) + মাইক্রোস্কোপ অবজেক্টিভ লেন্স;
১৩. নমুনার সাপেক্ষে মাস্কের নড়াচড়ার স্ট্রোক কমপক্ষে নিম্নলিখিতগুলির সাথে মিলিত হতে হবে: X: ৫ মিমি; Y: ৫ মিমি; : ৬º;
১৪. ★ এক্সপোজার শক্তি ঘনত্ব: > ৩০ মেগাওয়াট / সেমি২,
১৫. ★ দুটি স্টেশনে অ্যালাইনমেন্ট পজিশন এবং এক্সপোজার পজিশন কাজ করে এবং দুটি স্টেশন সার্ভো মোটর স্বয়ংক্রিয়ভাবে স্যুইচ করে;
১৬. যোগাযোগের চাপ সমতলকরণ সেন্সরের মাধ্যমে পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করে;
১৭. ★ অ্যালাইনমেন্ট গ্যাপ এবং এক্সপোজার গ্যাপ ডিজিটালি সেট করা যেতে পারে;
১৮. ★ এতে ন্যানো ইমপ্রিন্ট ইন্টারফেস এবং প্রক্সিমিটি ইন্টারফেস রয়েছে;
১৯. ★ টাচ স্ক্রিন অপারেশন;
২০. সামগ্রিক মাত্রা: প্রায় ১৪০০ মিমি (দৈর্ঘ্য) ৯০০ মিমি (প্রস্থ) ১৫০০ মিমি (উচ্চতা)।