লিথোগ্রাফি মেশিন মাস্ক অ্যালাইনার ফটো-এচিং মেশিন

স্পেসিফিকেশন

1। এক্সপোজার অঞ্চল: 110 মিমি × 110 মিমি ；
2। ★ এক্সপোজার তরঙ্গদৈর্ঘ্য: 365nm;
3। রেজোলিউশন: ≤ 1 এম;
4। প্রান্তিককরণ নির্ভুলতা: 0.8 মি;
5. প্রান্তিককরণ সিস্টেমের স্ক্যানিং টেবিলের গতি পরিসীমা কমপক্ষে পূরণ করবে: y: 10 মিমি;
।
7। মুখোশের আকার: 2.5 ইঞ্চি, 3 ইঞ্চি, 4 ইঞ্চি, 5 ইঞ্চি;
8। নমুনার আকার: খণ্ড, 2 ", 3", 4 ";
9। Maporation নমুনা বেধের জন্য উপযুক্ত: 0.5-6 মিমি, এবং সর্বাধিক 20 মিমি নমুনা টুকরো সমর্থন করতে পারে (কাস্টমাইজড);
10। এক্সপোজার মোড: সময় (কাউন্টডাউন মোড);
11। আলোর অ -অভিন্নতা: ＜ 2.5%;
12। ডুয়াল ফিল্ড সিসিডি প্রান্তিককরণ মাইক্রোস্কোপ: জুম লেন্স (1-5 বার) + মাইক্রোস্কোপ উদ্দেশ্য লেন্স;
13। নমুনার সাথে সম্পর্কিত মুখোশের আন্দোলনের স্ট্রোক কমপক্ষে পূরণ করবে: x: 5 মিমি; Y: 5 মিমি; : 6º ；
14। ★ এক্সপোজার শক্তি ঘনত্ব:> 30MW / সেমি 2,
15। ★ অ্যালাইনমেন্ট পজিশন এবং এক্সপোজার পজিশন দুটি স্টেশনে কাজ করে এবং দুটি স্টেশন সার্ভো মোটর স্বয়ংক্রিয়ভাবে স্যুইচ করে;
16। সমতলকরণ যোগাযোগের চাপ সেন্সরের মাধ্যমে পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করে;
17। ★ প্রান্তিককরণ ব্যবধান এবং এক্সপোজার ফাঁকটি ডিজিটালি সেট করা যেতে পারে;
18। ★ এটিতে ন্যানো ছাপ ইন্টারফেস এবং সান্নিধ্য ইন্টারফেস রয়েছে;
19। ★ টাচ স্ক্রিন অপারেশন;
20। সামগ্রিক মাত্রা: প্রায় 1400 মিমি (দৈর্ঘ্য) 900 মিমি (প্রস্থ) 1500 মিমি (উচ্চতা)।